名詞解釋

化學(xué)機械平坦化（CMP）

答案： 也稱為化學(xué)機械拋光CMP是通過化學(xué)反應(yīng)和機械研磨相結(jié)合的方法對表面起伏的硅片進行平坦化的過程。
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