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名詞解釋
化學(xué)機(jī)械平坦化（CMP）
答案：
也稱為化學(xué)機(jī)械拋光CMP是通過化學(xué)反應(yīng)和機(jī)械研磨相結(jié)合的方法對表面起伏的硅片進(jìn)行平坦化的過程。
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問答題
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