問答題

【簡答題】簡述鋁的結(jié)穿刺現(xiàn)象及解決方法。

答案: 在純鋁和硅的界面加熱合金化過程中(450~500℃),硅開始溶解在鋁中直到在鋁中的濃度達到0.5%,該過程消耗硅并在硅中...
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【簡答題】簡述鋁互連的優(yōu)缺點。

答案: 優(yōu)點:①電阻率低;
②鋁的成本低;
③與硅和二氧化硅的粘附性好;
④易于沉積成膜(蒸發(fā)、濺...
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【簡答題】簡述高能離子轟擊的內(nèi)容。

答案: ①離子反射(能量很?。?;
②離子吸附(<10eV),能量轉(zhuǎn)化熱能;
③離子注入(>10keV),能量...
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