問答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述什么焦深(DOF)及其公式。

答案: 焦深是焦點(diǎn)上下的一個(gè)范圍,在這個(gè)范圍內(nèi)圖像連續(xù)保持清晰。焦深類似照相的景深,集成電路光刻中的景深很小,一般在1.0&mu...
題目列表

你可能感興趣的試題

問答題

【簡(jiǎn)答題】寫出分辨率(R)公式及簡(jiǎn)述提高分辨率的方法。

答案: 分辨率是將硅片上兩個(gè)相鄰的關(guān)鍵尺寸圖形區(qū)分開的能力。分辨率是光刻中一個(gè)重要的性能指標(biāo)。

k為工藝因...
問答題

【簡(jiǎn)答題】寫出數(shù)值孔徑(NA)公式。

答案:

微信掃碼免費(fèi)搜題