名詞解釋

結(jié)深

答案： 雜質(zhì)擴散濃度分布曲線與襯底摻雜濃度曲線交點的位置稱為結(jié)深。
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問答題

【簡答題】

說明擴散雜質(zhì)的高斯分布特點（有限源擴散屬于此分布）
答案：

①在整個擴散過程中，雜質(zhì)總量保持不變；
②擴散時間越長，擴散溫度越高，則雜質(zhì)擴散得越深，表面濃度越低；
③表面雜質(zhì)濃度可控。
問答題

【簡答題】

說明擴散雜質(zhì)的余誤差函數(shù)分布特點（恒定表面源擴散屬于此分布）
答案： ①雜質(zhì)表面濃度由該種雜質(zhì)在擴散溫度下的固溶度所決定。當擴散溫度不變時，表面雜質(zhì)濃度維持不變；
②擴散時間越長，...
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