填空題

固相反應(yīng)按反應(yīng)物狀態(tài)不同分為（）及氣液固相反應(yīng)，按反應(yīng)機理不同分為（）和升華控制過程等，按反應(yīng)性質(zhì)不同分為（）、加成反應(yīng)、置換反應(yīng)和分解反應(yīng)。

答案： 純固相反應(yīng)、氣固相反應(yīng)、液固相反應(yīng)；擴散控制過程、化學(xué)反應(yīng)速度控制過程、晶核成核速率控制過程；氧化反應(yīng)、還原反應(yīng)
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液相沉淀法是指在原料溶液中添加適當(dāng)?shù)模ǎ?，從而形成沉淀物的方法。該法分為（）?/h4>

答案： 沉淀劑；直接沉淀法、共沉淀法、均勻沉淀法
填空題

PECVD所采用的等離子種類有（）。
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