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填空題
化學加工采用（）制備掩膜，不僅將涂覆和刻劃兩道工序合二為一，而且可以做到更加細密。
答案：
光化學方式
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填空題
光化學腐蝕制備掩膜采用（）受到光照射而凝固，不受光的部分仍然為液態(tài)，這實質(zhì)上是將化學加工常規(guī)制備掩膜時的（）和（）兩道工序合二為一。
答案：
光敏樹脂等感光材料；掩膜涂覆；刻劃
