填空題

離子束加工裝置與電子束加工裝置類似，不同的是用（）取代了（）。

答案： 離子源；電子槍
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電子束加工的裝置主要包括（）和（）、（）等。
答案： 電子槍；真空系統(tǒng)；控制系統(tǒng)
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激光加工的加工過程包括（）、（）和（）等3個(gè)階段。
答案： 吸收；加熱；破壞
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