判斷題

LPCVD系統(tǒng)中淀積速率是受表面反應(yīng)控制的，APCVD系統(tǒng)中淀積速率受質(zhì)量輸運(yùn)控制。

答案： 正確
微信掃碼免費(fèi)搜題