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長光柵主要用于();短光柵主要用于角位移測量。
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線位移測量
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光柵讀書裝置由()、()、()、()
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光源;聚光鏡;指示光柵;光電元件
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光柵利用(),使得它能測得比柵距還小的位移量。
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細分技術
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