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問答題
【簡答題】離子束加工為什么能實(shí)現(xiàn)納米級(jí)加工？
答案：
離子束可以通過離子光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行聚焦掃描，共聚焦光班可達(dá)1μm以內(nèi)，因而可以精確控制尺寸范圍。離子束轟擊材料是逐層去除原子...
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問答題
【簡答題】電子束加工和離子束加工的原理是什么？
答案：
原理：一個(gè)是在真空的條件下，利用電能使電子加速轉(zhuǎn)換成動(dòng)能撞擊工件，又轉(zhuǎn)換成熱能來蝕除金屬。另一個(gè)是在真空條件下，將離子源...
