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【簡答題】什么是阱?CMOS工藝中阱的作用是什么?試說明CMOS雙阱工藝中的阱是如何形成的?
答案:
在硅襯底上形成的、摻雜類型或摻雜濃度與硅襯底不同的局部摻雜區(qū)域稱為阱(well),包括:n阱、p阱和雙阱(dual/tw...
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【簡答題】試說明NMOS和PMOS的源漏是如何形成的及為什么?
答案:
LDD技術(輕摻雜漏注入技術)結構:在溝道的漏端及源端增加低摻雜區(qū)。LDD使用的較大質(zhì)量的摻雜材料使硅片的上表面成為非晶...
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答案:
源漏的自對準注入(LDD):在硅柵工藝中,利用多晶硅柵的掩蔽作用自對準地進行源漏區(qū)的雜質(zhì)注入,并同時完成多晶硅柵的雜質(zhì)注...
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